硅碳棒的表面質量
2024-04-07 16:46:20 點擊：
采取的措施:定期對導向器銅塊進行保養維護，用一段時間后要用砂紙打磨小銅塊;同時要注意對鋸帶使用的保護，冷卻水管道必須對準鋸帶，使其一直處于被冷卻狀態。
硅碳棒表面的粗細不均勻，導致夾具與硅碳棒的接觸面積減小，面接觸變為了點接觸，摩擦力減小，故不能保證硅碳棒的穩定性，雖然夾具已經夾得緊，但由于硅碳棒受力不均勻，所以會發生左右或向下的移動，不能保證硅碳棒與鋸帶垂直，故更不能確保硅碳棒端面的平行度。
采取的措施:①提高拉晶工的拉晶水平，確保硅碳棒的表面基本保持平整，不能出現忽凸忽凹現象;②針對硅碳棒表面平整度差的硅碳棒，可以在硅碳棒直徑小的地方墊一些硬塑料或小木片，使其保持水平狀態或垂直于鋸帶，盡可能避免平行度差的現象發生。
本文借助于生產現場的操作經驗，分別從夾具、木契及鋸帶的切割速度等因素分析了單晶圓棒發生崩邊現象的原因，并分別從夾具、導向器與鋸帶及硅碳棒的表面質量等因素分析了單晶圓棒發生平行度差現象的原因。結合生產實際，給出了具體的應對措施，取得了顯著的效果。http://www.yagpc.com/
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