導致單晶圓硅碳棒發生崩邊或平行度差的問題
2024-04-05 17:21:58 點擊：
單晶硅碳棒在截斷過程中，由于各種原因導致單晶圓硅碳棒發生崩邊或平行度差的問題，嚴重影響了單晶圓硅碳棒的合格率。為了分析并解決該問題，探討了單晶硅碳棒截斷時發生崩邊或平行度差的具體原因及應對措施。除去一般人為的操作不規范外，其中影響單晶硅碳棒截斷時發生崩邊或平行度差的因素主要有:夾具、鋸帶的切割速度及硅碳棒質量等。
太陽能是未來最清潔、安全和可靠的能源，發達國家正在把太陽能的開發利用作為能源革命的主要內容，光伏產業正日益成為國際上繼IT、微電子產業之后又一爆炸式發展的行業。太陽能具有可再生和環保等方面的特點，這種優勢讓包括中國在內的許多國家將太陽能作為重點發展的新能源產業。近年來，由于歐美各國市場需求的增大，我國光伏產業取得了快速的發展，最近5年的年均增長速度達到40%以上。在進一步加大政策扶持力度的背景下，未來光伏產業的增長前景將更為廣闊。光伏發電產業鏈從上游到下游，主要包括的產業鏈條為多晶硅料、單晶硅碳棒(多晶硅錠)、硅片、電池片以及光伏組件。
單晶硅碳棒的制造只是整個光伏產業鏈條中一個環節。關于單晶硅的研究，更多的側重點是關于晶體生長缺陷、熱場的模擬分析一3-a一及硅碳棒斷棱的研究，對光伏企業的實際生產具有一定的指導意義。而對于單晶硅制造企業來說，更關注的實際生產中單晶硅碳棒截斷發生崩邊或平行度差的問題分析還鮮有報道。為了分析該現象，本文借助于生產現場的操作經驗，從夾具、鋸帶的切割速度及硅碳棒質量等因素，討論了硅碳棒截斷發生崩邊或平行度差現象的原因并給出了具體的應對措施。http://www.yagpc.com/
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