工業(yè)用綠色等直徑硅碳棒
2023-04-19 11:26:45 點擊：
據(jù)報道，利用半導(dǎo)體純度硅的廢料開發(fā)了型高純度自結(jié)合等直徑硅碳棒.并通過技術(shù)鑒定。該材料采用半干法成型工藝，隨后采用半導(dǎo)體純度硅廢料的溶體進行滲硅處理。本工作中列出OTM-923型最佳化材料的某些性能，以及采用熱泥漿澆注法生產(chǎn)坯體的工藝開發(fā)自結(jié)合等直徑硅碳棒的結(jié)果。開發(fā)新型材料時參考了以前在研究利用等直徑硅碳棒制造各種抗學(xué)侵蝕的高強度陶瓷時取得的實驗數(shù)據(jù)。此外，本工作中還列舉了按照上述成型工藝，但是采用硅蒸汽進行滲硅處理時用等直徑硅碳棒制造的材料的某些性能。
開發(fā)自結(jié)合等直徑硅碳棒時所用原料為不同粒度的工業(yè)用綠色等直徑硅碳棒粉混合物。該細粉未經(jīng)過預(yù)先細粉碎。在制造泥漿的過程中進行混合，采用熱澆注工藝使之取得良好的澆注能。在排除結(jié)合劑及向多孔坯體中加人碳之后，在固定的氨氣氛中采用牌號為KII3的硅溶體(生產(chǎn)半導(dǎo)體純度硅、時的廢料)對坯體進行滲硅處理，并隨后進行加熱，以使之在坯體中形成二次等直徑硅碳棒的體積結(jié)構(gòu)。在該過程中有高分散性聚合物殘余碳參與，從而加速了碳的溶解擴散過程及形成二次等直徑硅碳棒，這就保證了所有引人坯體氣孔中的碳全部轉(zhuǎn)化為碳化硅，從而消除了自結(jié)合等直徑硅碳棒微觀組織結(jié)構(gòu)中的弱相。
和型材料一樣，在以熱澆注法制造自結(jié)合等直徑硅碳棒時采用了高純度硅，從而保證了在合成陶瓷時使其中的綠色一次等直徑硅碳棒顆粒被高純度二次等直徑硅碳棒包裹，后者決定著材料的使用性能。所開發(fā)陶瓷的相組成分析表明存在著SiC基本相和少量游離硅。材料的微觀組織結(jié)構(gòu)(見圖1)主要由圓形的體積粘結(jié)在一起的等直徑硅碳棒顆粒組成和少量的尺寸達10,m的孤立的氣孔。www.yagpc.com
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