裝置用MoSiloxide硅碳棒進行真空脫Na處理
2021-08-14 19:30:34 點擊：
如圖3所示，經1 300℃處理l00
h后，硅碳棒未脫Na試樣表面出現一些白色斑點，這些白色斑點是在Na組分自試樣內部向外揮發過程中形成的富Na區域，其結構較疏松，并往往存在有微小孔洞.白色斑點作為表面缺陷，嚴重損害了硅碳棒保護膜的完整高溫蟋變特性圖4是未脫Na和脫Na試樣的蠕變曲線，測試溫度為1
000 ` ,載荷100 MPa由圖4可以看出，在該條件下脫Na試樣的蠕變速率明顯較低，經估算未脫Na和脫Na試樣的穩態應變速率分別為4.72xl
OYs-，和1.94x l0ls
'.這是因為，添加的粘土在材料中主要以玻璃相形式分布在晶界上，高的N。含量降低了玻璃相的軟化點，同樣溫度下未脫Na材料中玻璃相的粘度必然較低，而高溫下晶界玻璃相粘度的高低是控制材料蠕變速率的關鍵因素，晶界粘度越低蠕變速率越快，因此未脫Na試樣的蠕變速率明顯高于脫Na試樣在前述研究的基礎上，利用實驗檢驗了兩種材料制成的硅碳棒的耐久性.分別以正常使用時1
.5 , 2.0 , 2.3倍的負荷將硅碳棒升溫至1
400 , 1 500,1 600℃通電45 s后斷電，45
s后再通電，如此反復，直至損壞，用其所能夠承受的熱反復次數表征其使用壽命，結果列于表3‘從表3可以看出，1 400
0E,時二者的耐久性相差無幾，隨著溫度的升高，未脫Na試樣的耐久性急劇惡化，而脫Na試樣的耐久性下降相對緩慢.可見采用脫Na工藝可大大地提高材料的耐久性壽命。
(1)對半導體材料熱處理裝置用MoSiloxide硅碳棒進行真空脫Na處理，較好地避免了石英玻璃管的失透問題;
(2)真空脫Na處理改善了MoSizloxide硅碳棒材料的彎曲強度和高溫蠕變特性;
(3)真空脫Na處理提高MoSiloxide硅碳棒的使用壽命.www.yagpc.com
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